In-situ X-ray reflectivity observation of oxide growth during anodic oxidation of Si
In-situ X-ray reflectivity observation of oxide growth during anodic oxidation of Si
复制标题
Si阳极氧化过程中氧化物生长的原位X射线反射率观察
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T. Matsushita
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
W. Voegeli;E. Arakawa;C. Kamezawa;R. Iwami;T. Shirasawa;T. Matsushita
