スパッタ法で成膜したVO2薄膜の物性に及ぼすWドープの影響
スパッタ法で成膜したVO2薄膜の物性に及ぼすWドープの影響
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W掺杂对溅射法沉积VO2薄膜物理性能的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石原島弘明，馬場将亮，畑山祥吾，齊藤雄太，内田紀行，武田雅敏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nemoto Kosei;Takeuchi Ryosei;Baba Masaaki;Takeda Masatoshi;Yamada Noboru;石原島弘明，馬場将亮，畑山祥吾，齊藤雄太，内田紀行，武田雅敏
