Structural Observation of 4H-SiC (0001) Surface Planarized by Catalyst-Referred Etching
Structural Observation of 4H-SiC (0001) Surface Planarized by Catalyst-Referred Etching
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通过催化剂参考蚀刻平坦化 4H-SiC (0001) 表面的结构观察
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
定國峻
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Koizumi;Y.;Shimizu;Y.;定國 峻;Masahiro Tada;定國峻
