K.Iyanagi et al: "Two dimensional modeling of Ar RF ICP by RCT model"Bulletin of the American Phys. Soc. 42・8. 1750 (1997)
K.Iyanagi et al: "Two dimensional modeling of Ar RF ICP by RCT model"Bulletin of the American Phys. Soc. 42・8. 1750 (1997)
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K.Iyanagi 等人：“通过 RCT 模型进行 Ar RF ICP 的二维建模”美国物理学会公报 42・8（1997 年）。
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