S.Takami: "Monolayr Nitridation of Silicon Surface by a Dry Chemical Process Using Dimethylhydrazine or Ammmonia" Appl.Phys.Lett. 66 (12). 1527-1529 (1995)
S.Takami: "Monolayr Nitridation of Silicon Surface by a Dry Chemical Process Using Dimethylhydrazine or Ammmonia" Appl.Phys.Lett. 66 (12). 1527-1529 (1995)
复制标题
S.Takami：“使用二甲基肼或氨通过干化学工艺对硅表面进行单层氮化”Appl.Phys.Lett。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
