擬火花放電プラズマCVD法によるDLC膜の特性評価
擬火花放電プラズマCVD法によるDLC膜の特性評価
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赝火花放电等离子体CVD法评价DLC膜特性
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
向川 政治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鎌田貴晴;渡部政行;向川 政治
