Effects of Remote Boundary Conditions on Clamping Loss in Micromechanical Resonators
Effects of Remote Boundary Conditions on Clamping Loss in Micromechanical Resonators
复制标题
远程边界条件对微机械谐振器钳位损耗的影响
DOI：
10.1109/jmems.2021.3136885
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发表时间：
2022
影响因子：
2.7
通讯作者：
Shaw, Steven W.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Miller, James M.;Vukasin, Gabrielle D.;Zhang, Ze;Kwon, Hyun-Keun;Majumdar, Arun;Kenny, Thomas W.;Shaw, Steven W.
