Measurement of the Bidirectional Reflectance Distribution Function of Tungsten Surface Sputtered in Argon Plasma
Measurement of the Bidirectional Reflectance Distribution Function of Tungsten Surface Sputtered in Argon Plasma
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氩等离子体溅射钨表面双向反射率分布函数的测量
DOI：
10.1585/pfr.17.2405041
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发表时间：
2022
影响因子：
0.8
通讯作者：
HATAE Takaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
NATSUME Hiroki;NOJIRI Kunpei;KAJITA Shin;USHIKI Tomohiko;SUGIE Tatsuo;KITAZAWA Sin-iti;KIKUCHI Takanori;YOKOZUKA Tomohiro;TANAKA Hirohiko;OHNO Noriyasu;HATAE Takaki
