プラズマ支援分子線堆積法による フレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (3)

プラズマ支援分子線堆積法による フレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (3)
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使用等离子体辅助分子束沉积在柔性基板上形成 GZO 透明导电薄膜并进行评估 (3)

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
松本俊
松本俊
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
村中司;小野裕俊;寺田佳史;渡辺三志郎;鍋谷暢一;松本俊

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