松本佳宣、皆川郁靖、石田 誠: "SOI構造を用いた容量型3軸加速度センサの試作" 第14回「センサの基礎と応用」シンポジウム 和文速報. 71 (1996)

Yoshinobu Matsumoto、Ikuyasu Minakawa、Makoto Ishida：“采用 SOI 结构的电容式 3 轴加速度传感器原型”第 14 届“传感器基础与应用”研讨会日本公告 71（1996 年）。