Direct Observation of Catalytical Nuclei Formed on Insulating Substrate by Activation Pretreatment for Electroless Plating
Direct Observation of Catalytical Nuclei Formed on Insulating Substrate by Activation Pretreatment for Electroless Plating
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直接观察化学镀活化预处理在绝缘基材上形成的催化核
DOI：
10.4139/sfj.51.215
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Matsuda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Yamagishi;S. Yae;M. Nishira;H. Matsuda
基板 に は,ガ ラス(ス ライ ドガ ラス:76×9mm)お よ びマイカ(8×8mm)を 用 いた。ガ ラスは,ア ル カ リ脱 脂 後,5%HCI水 溶 液 で 中和,純 水 洗浄 した。 マ イ カ は,壁 開 して新鮮 な表 面 を出 して,純 水 に浸 したの ち実 験 に用 いた。二液法活性 化前処理 は,セ ンシタイ ジング 処理(0.87mol・m-3SnCl2+24.Omol・m-3HC1水 溶 液, 液温:318K,120秒 間浸漬)を 施 し,純 水洗 浄 したの ち ア ク チ ベ ーテ ィン グ 処 理(0.56mol・m-3PdC12+12.O mol・m―3HC1水 溶液,液 温:300K,60秒 間 浸漬)を 施 し,純 水洗 浄す るこ とで行 った。無電 解め っきは,コ ハ ク酸 一 リン ゴ酸 を錯 化 剤 とした 無 電 解Ni・Pめ っき浴 (pH:5.0,浴 温:343K)を 用 いて,5秒 間析 出 させた。 表 面 観 察 に は,タ ッピ ン グ モー ド原 子 間 力 顕 微 鏡 (TMAFM:DigitalInstruments製NanoScopeIIIa) および走 査型電 子顕微 鏡(SEM:日 立製作 所製S-4000) を用 いた。SEM観 察試料 の表面 には,電 導性 を付与 す るた め,Pt-Pd合 金 をイオ ンスパ ッタ リング蒸着 した。 吸着粒子 お よび析 出粒 子 の数密度 は,250×250nm内 に ある粒子 数 を3カ 所数 え,そ の平均 値 よ り求 めた。