フォトニック結晶作製における電子ビーム露光条件依存性
フォトニック結晶作製における電子ビーム露光条件依存性
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光子晶体制造中电子束曝光条件的依赖性
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
横山新
中科院分区：
文献类型：
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作者：
原田祥典;雨宮嘉照;横山新
