Intrinsic Friction Behavior Originated from Molecular Structure of Lubricant in Nanoscale Gap Fabricated by MEMS
Intrinsic Friction Behavior Originated from Molecular Structure of Lubricant in Nanoscale Gap Fabricated by MEMS
复制标题
MEMS 制造的纳米级间隙中润滑剂分子结构的固有摩擦行为
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wataru Yagi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Miyagawa Akihiro;宮川明裕;Wataru Yagi
