反応分子動力学法に基づくウルトラファインバブルが窒化物半導体基板の CMPプロセスに与える影響の検討
反応分子動力学法に基づくウルトラファインバブルが窒化物半導体基板の CMPプロセスに与える影響の検討
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基于反应分子动力学方法考察超细气泡对氮化物半导体衬底CMP工艺的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
尾澤伸樹，久保百司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
リム ユフィ;三浦 天聖;大川原 徹;竹原 健司;尾澤伸樹，久保百司
