I.ISHIKAWA,K.KOIKE,T.AKITSU,S.SUGANOMATA,&H.MATSUZAWA: "DETECTION TECHNIQUE OF NEGATIVE IONS BY PHOTODETACHMENT IN SF6 LOW FREQUENCY DISCHARGE" Jpn.J.Appl.Phys.

I.ISHIKAWA,K.KOIKE,T.AKITSU,S.SUGANOMATA,&H.MATSUZAWA: "DETECTION TECHNIQUE OF NEGATIVE IONS BY PHOTODETACHMENT IN SF6 LOW FREQUENCY DISCHARGE" Jpn.J.Appl.Phys.
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石川、小池小池、秋津、菅野三、

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