J.Murota et al: "In-Situ Heavy Doping of P and B in Low-Temperature Si_<1-x>Ge_x Epitaxial Growth Using Ultraclean LPCVD" Proceedings of the 8th International Symposium on Silicon Materials Science and Technology. PV98-1. 822-833 (1998)
J.Murota et al: "In-Situ Heavy Doping of P and B in Low-Temperature Si_<1-x>Ge_x Epitaxial Growth Using Ultraclean LPCVD" Proceedings of the 8th International Symposium on Silicon Materials Science and Technology. PV98-1. 822-833 (1998)
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J.Murota等：“In-Situ Heavy Doping of P and B in Low-Temperature Si_1-x>Ge_x Epitcentric Growth using Ultraclean LPCVD”第八届国际硅材料科学与技术研讨会论文集。
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