酸化排除による高品質SiC MOS界面の形成(次世代パワー半導体の開発・評価と実用化)
酸化排除による高品質SiC MOS界面の形成(次世代パワー半導体の開発・評価と実用化)
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通过消除氧化形成高质量的SiC MOS界面(下一代功率半导体的开发、评估和实际应用)
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
木本恒暢
中科院分区:
文献类型:
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作者:
小林拓真;木本恒暢