Effects of Si impurity on the nucleation and growth of cubic boron nitride thin films
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Si杂质对立方氮化硼薄膜成核和生长的影响
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Oba;H;Nose;K;Yoshida;T;et al.
