Semiconductor dopant profiling by off-axis electron holography.
Semiconductor dopant profiling by off-axis electron holography.
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通过离轴电子全息术进行半导体掺杂剂分析。
DOI：
10.1016/s0304-3991(02)00260-7
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
2.2
通讯作者：
David J. Smith
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jing Li;M. McCartney;David J. Smith
