石丸 和博: "方形波パルス無声放電を用いた非平衡プラズマ化学反応によるシリコン酸化膜のCVD特性" 第35回日本伝熱シンポジウム講演論文集. 35-II. 653-654 (1998)
石丸 和博: "方形波パルス無声放電を用いた非平衡プラズマ化学反応によるシリコン酸化膜のCVD特性" 第35回日本伝熱シンポジウム講演論文集. 35-II. 653-654 (1998)
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Kazuhiro Ishimaru：“使用方波脉冲无声放电的非平衡等离子体化学反应的氧化硅膜的CVD特性”第35届日本传热研讨会论文集35-654（1998）。
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