BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討
BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討
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BiFeO3压电薄膜微悬臂梁触觉传感器的研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川雅之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三原雅人;野沢瑛斗;安部隆;奥山雅則;野間春生;東輝明;寒川雅之
