Preliminary study on formation of proton microbeam with continuously variable kinetic energy for 3-Dimensional proton lithography
Preliminary study on formation of proton microbeam with continuously variable kinetic energy for 3-Dimensional proton lithography
复制标题
三维质子光刻用连续可变动能质子微束形成的初步研究
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Ishii and T. Kamiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Ohkubo;Y. Ishii and T. Kamiya
