Anchor deformations drive limit cycle oscillations in interferometrically transduced MEMS beams
Anchor deformations drive limit cycle oscillations in interferometrically transduced MEMS beams
复制标题
锚变形驱动干涉换能 MEMS 梁中的极限循环振荡
DOI：
10.1016/j.finel.2011.08.020
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发表时间：
2012
影响因子：
3.1
通讯作者：
S. Mukerji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
David B. Blocher;A. Zehnder;R. Rand;S. Mukerji
