板垣 奈穂: "Control of the electron temperature by varying the resonance zone width in ECR plasma"Thin Solid Films. (in press). (2004)
板垣 奈穂: "Control of the electron temperature by varying the resonance zone width in ECR plasma"Thin Solid Films. (in press). (2004)
复制标题
Naho Itagaki：“通过改变 ECR 等离子体中的共振区宽度来控制电子温度”薄固体薄膜（2004 年出版）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
