一种新型栅介质材料HfTiON的制备
一种新型栅介质材料HfTiON的制备
复制标题
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
徐静平*
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
陈卫兵;徐静平*
