高熱電出力因子化に向けたSi基板上ε-CoSi薄膜のエピタキシャル成長とその熱電特性
高熱電出力因子化に向けたSi基板上ε-CoSi薄膜のエピタキシャル成長とその熱電特性
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Si衬底上外延生长ε-CoSi薄膜及其高热电功率因数的热电性能
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村 芳明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石垣 信太郎;石部 貴史;中村 芳明
