Surface Smoothing Process of Si Nanowires with Various Orient ations by Hydrogen Anneal under Different Pressures
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复制标题
不同压力下氢气退火对不同取向硅纳米线的表面平滑处理
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Tsunenobu Kimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Naoya Morioka;Jun Suda;and Tsunenobu Kimoto
