プラズマ励起化学気相堆積法で成長したア モルファスカーボン膜の吸収端近傍X線吸収微細構造における高周波電力依存性
プラズマ励起化学気相堆積法で成長したア モルファスカーボン膜の吸収端近傍X線吸収微細構造における高周波電力依存性
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等离子体增强化学气相沉积非晶碳薄膜吸收边附近 X 射线吸收精细结构的高频功率依赖性
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
堀勝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
杉浦啓嗣;賈凌雲;佐藤俊一;近藤博基;石川健治;竹田圭吾;関根誠;堀勝
