ミリメートルサイズの細穴内面形状へのプラズマ成膜
ミリメートルサイズの細穴内面形状へのプラズマ成膜
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毫米级孔内表面的等离子体沉积
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上坂 裕之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazuyuki Enomoto;Koji Arimitsu;Atsutaro Yoshizawa;Ravi Joshi;Hiroki Yamamoto;Akihiro Oshima;Takahiro Kozawa;and Seiichi Tagawa;上坂 裕之
