ミストデポジション技術による深紫外線センサーの作製〜リソグラフィーレス有機ポリマーのパターニングとアモルファスIGO〜
ミストデポジション技術による深紫外線センサーの作製〜リソグラフィーレス有機ポリマーのパターニングとアモルファスIGO〜
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使用雾沉积技术制造深紫外传感器 - 无光刻有机聚合物图案化和非晶态 IGO -
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西中浩之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuri Noma;Jai Hyuk Choi;Sven Stauss;Takaaki Tomai;and Kazuo Terashima;亀山直季;西中浩之
