SIMS、XRD を用いた InAs/GaSb 超格子中の As 濃度推定

SIMS、XRD を用いた InAs/GaSb 超格子中の As 濃度推定
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使用 SIMS 和 XRD 估算 InAs/GaSb 超晶格中的 As 浓度

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
荒井昌和
荒井昌和
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
今村優希;中川翔太;大濱寛士;前田幸治;荒井昌和

文献摘要

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