Hideki Matsumura: "Theoretical Consideration on Demagnified X-Ray Lithography Using No Thin Film Pattern Masks." Proc.of 3rd Micro-Process Conf.(Jpn.J.Appl.Phys.).
Hideki Matsumura: "Theoretical Consideration on Demagnified X-Ray Lithography Using No Thin Film Pattern Masks." Proc.of 3rd Micro-Process Conf.(Jpn.J.Appl.Phys.).
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Hideki Matsumura：“不使用薄膜图案掩模的缩小 X 射线光刻的理论思考。”
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