A.Kitagawa;M.Katayama;Y.Tokuda;A.Usami;T.Wada: THE 18TH SYMPOSIUM ON ION IMPLANTATION AND SUBMICRON FABRICATION March 10-11. 29-32 (1987)
A.Kitagawa;M.Katayama;Y.Tokuda;A.Usami;T.Wada: THE 18TH SYMPOSIUM ON ION IMPLANTATION AND SUBMICRON FABRICATION March 10-11. 29-32 (1987)
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A.Kitakawa;M.Katayama;Y.Tokuda;A.Usami;T.Wada：第 18 届离子注入和亚微米制造研讨会，3 月 10 日至 11 日。
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