極薄GeO_2界面層を有するZr系high-k/Geゲートスタック構造の形成
極薄GeO_2界面層を有するZr系high-k/Geゲートスタック構造の形成
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超薄GeO_2界面层Zr基高k/Ge栅堆叠结构的形成
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中島寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平山佳奈;岩村義明;上野隆二;楊海貴;王冬;中島寛
