高気圧マイクロ波プラズマ生成過程の圧力依存性
高気圧マイクロ波プラズマ生成過程の圧力依存性
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高压微波等离子体生成过程的压力依赖性
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
峯田彬浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
庄司多津男;峯田彬浩
