希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第1報)-アークプラズマと原子状酸素ビームを用いた新しい希土類酸化物薄膜の創製-
希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第1報)-アークプラズマと原子状酸素ビームを用いた新しい希土類酸化物薄膜の創製-
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稀土氧化物薄膜新生产方法的建立及其摩擦学性能（第1部分） - 使用电弧等离子体和原子氧束创建新型稀土氧化物薄膜 -
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大前伸夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
原田将伍;山本俊介;水本博貴;永井和広;大前伸夫
