A Compact Nitrogen Radical Source by Helicon-Wave Discharge Employing a Permanent Magnet
A Compact Nitrogen Radical Source by Helicon-Wave Discharge Employing a Permanent Magnet
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采用永磁体的螺旋波放电的紧凑型氮自由基源
DOI：
10.1016/s0040-6090(00)01650-3
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Hayashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Kokubu;K. Sasaki;K. Kadota;D. Hayashi
