中村圭二 他2名: "新しい高周波バイアス法による壁表面の制御とエッチングへの応用"第16回プラズマ・核融合学会年会. 1巻. 174-175 (1999)

中村圭二 他2名: "新しい高周波バイアス法による壁表面の制御とエッチングへの応用"第16回プラズマ・核融合学会年会. 1巻. 174-175 (1999)
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Keiji Nakamura 等 2 人:“使用新的高频偏压方法控制壁面及其在蚀刻中的应用”,日本等离子体与融合科学学会第 16 届年会,第 1 卷,174-175(1999 年)。

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