Novel DLC synthesis method employing high-density plasma sustained by microwave propagation along plasma-sheath interface (Invited)
Novel DLC synthesis method employing high-density plasma sustained by microwave propagation along plasma-sheath interface (Invited)
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采用沿等离子体-鞘界面微波传播维持高密度等离子体的新型DLC合成方法（特邀）
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroyuki Kousaka and Noritsugu Umehara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Youhei Hizume;et.al.;三沢達也,鹿谷昇,川上雄士,円城寺隆志,大津康徳;Hiroyuki Kousaka and Noritsugu Umehara
