Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen
Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen
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电气机械微系统物理混合级模型
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Sattler
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Sattler
Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden Ansatze und Methoden zur Modellierung von gekoppelten Effekten in Mikrosystemen auf Bauelemente- und Systemebene entwickelt. Im Mittelpunkt der Untersuchungen stehen hierbei die elektromechanische Kopplung und die Fluid-Struktur-Wechselwirkung mit einem Schwerpunkt auf der viskosen Dampfung bei dynamisch betriebenen Mikrobauelementen. An typischen Demonstratoren werden Wege aufgezeigt, wie die Komplexitat der Modelle, angepasst an die jeweilige Problemstellung, so reduziert werden kann, da diese gekoppelten Effekte moglichst genau und physikalisch basiert, aber dennoch mit angemessenem Rechenaufwand in die Simulationen einbezogen werden konnen.
