めっき銅薄膜配線ストレスマイグレーション支配因子の解明
めっき銅薄膜配線ストレスマイグレーション支配因子の解明
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镀铜薄膜布线中控制应力迁移的因素的阐明
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齋藤直樹，村田直一，玉川欣治，鈴木研，三浦英生
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大野弘幸;K.Taniguchi;藤田恭子;Takayuki Kitamura;齋藤直樹，村田直一，玉川欣治，鈴木研，三浦英生
