Cathodeluminescence from Nanocrystalline Silicon Embedded in Silicon Oxide layer by RF Magnetron Sputtering
Cathodeluminescence from Nanocrystalline Silicon Embedded in Silicon Oxide layer by RF Magnetron Sputtering
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通过射频磁控溅射嵌入氧化硅层中的纳米晶硅的阴极发光
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Tsuji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Fujimoto;T.Murofushi;辻琢人;T.Tsuji
