High-aspect micromachining of PDMS sheets using laser plasma EUV radiation
High-aspect micromachining of PDMS sheets using laser plasma EUV radiation
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使用激光等离子体 EUV 辐射对 PDMS 片材进行高宽比微加工
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tetsuya Makimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jiang Yuan;Kotaro Oguchi;Tetsuya Makimura
