The heating characteristic analysis of the silicon wafers stacked in a heating furnace for the batch processing

The heating characteristic analysis of the silicon wafers stacked in a heating furnace for the batch processing
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批量加工加热炉中堆叠硅片的加热特性分析

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
The Sixth KSME-JSME Thermal and Fluids Engineering Conference (CD-ROM)
影响因子：
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通讯作者：
K.Morimitsu
K.Morimitsu
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T.Sasaki;K.Kikuta;T.Chikahisa;Y.Hishinuma;K.Morimitsu

文献摘要

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