Time-resolved measurements during backside dry etching of fused silica
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复制标题
熔融石英背面干法蚀刻过程中的时间分辨测量
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
B. Hopp
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Zimmer;R. Böhme;C. Vass;B. Hopp
