平山昌樹: "マイクロ波励起高密度プラズマを用いた薄膜形成技術"第32回超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム. 124-129 (1998)
平山昌樹: "マイクロ波励起高密度プラズマを用いた薄膜形成技術"第32回超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム. 124-129 (1998)
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Masaki Hirayama：“利用微波激发高密度等离子体的薄膜形成技术”第32届VLSI超清洁技术研讨会124-129（1998年）。
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