Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications
Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications
复制标题
开发用于 MEMS 应用的微耕图案电极
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Shimizu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山本武幸;小林剛;清水淳;尾嶌裕隆;小貫哲平;周立波;永澤 茂;J. Shimizu
