Surface Profile Measurement of Micro-optics by Using a Long Stroke AFM
Surface Profile Measurement of Micro-optics by Using a Long Stroke AFM
复制标题
使用长行程 AFM 测量微光学器件的表面轮廓
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wei Gao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Minglei Li;So Ito;Zhigang Jia;Yuki Shimizu;Wei Gao
