J.Mizuno, K.Nottmeyer, T.Kobayashi, K.Minami and M.Esashi: "Silicon Bulk Micromachined Accelerometer with Simultaneous Linear and Angular Sensitivity" Digest of Techuical Papers Transducers'97. (Accepted)9. (1997)
J.Mizuno, K.Nottmeyer, T.Kobayashi, K.Minami and M.Esashi: "Silicon Bulk Micromachined Accelerometer with Simultaneous Linear and Angular Sensitivity" Digest of Techuical Papers Transducers'97. (Accepted)9. (1997)
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J.Mizuno、K.Nottmeyer、T.Kobayashi、K.Minami 和 M.Esashi：“具有同步线性和角度灵敏度的硅体微机械加速度计”技术论文摘要传感器97。
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