F.Iwata: "Ultrasonic micromachining on Al thin film using atomic force microscopy combined quartz crystal resonator" Thin Solid Films. 302. 122-126 (1997)
F.Iwata: "Ultrasonic micromachining on Al thin film using atomic force microscopy combined quartz crystal resonator" Thin Solid Films. 302. 122-126 (1997)
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F.Iwata：“使用原子力显微镜组合石英晶体谐振器对铝薄膜进行超声波微加工”固体薄膜。
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